可由长期连续作入口压力太高、排气压力太高、杂物进人发生咬合、橡胶避震器温太高、橡胶避震器等配合间隙太小、电压太高、橡胶避震器液返入橡胶避震器内太多等引起，会使电机损坏。应尽量避免在大功率附近长期连续运转。如果表面有沉积物，要定期拆开清除。极限压力不达标。可由外漏、内漏、孔堵塞、橡胶避震器质量不良或污染变质、有汽等可凝性物质、仪器仪表失真、橡胶避震器运转不正常等引起。外漏较多时，排气口可看到白色蒸汽。标处有较多气泡，手在排气口上可感到排气压力。低排气阀处面有较多气泡。功率会有所增加。这时，首先应检查气镇阀是否已关好。由于新橡胶避震器出厂每台都在橡胶避震器口测极限压力，所以如有外漏现象，应对橡胶避震器口及、阀门、容器逐一检查。外轴封失效、杯无、孔闷头漏气也可造成外漏。
内漏可由橡胶避震器内的运动间隙、排气阀座平面、排气阀的密封面、内轴封、橡胶避震器盖平面、进气管、气镇阀密封件等引起。磨损、腐蚀、咬合会使运转间隙加大。孔阻塞时，打开加孔听，橡胶避震器的噪声会较轻，在箱密封良好的情况下，如果手在排气口上有被吸的感觉，排气阀可能失效。如果橡胶避震器清洁，长期存放未用，可开气镇阀净化橡胶避震器内汽。若无效，要检杏仪表。若橡胶避震器发黄发白已乳化，可全开气镇，调大气镇量净化运转，必要时可在橡胶避震器口放入适量气体运转，可加快净化过程。若抽入其他挥发性气体或液体，要及时换，必要时请洗箱。有些橡胶避震器，在间气道里会沉积橡胶避震器液，为取得好的换效果，要设法把沉积橡胶避震器液排出。极限压力是用座式压缩式银真空计测量的。用经校准的热偶真空计等全压力计测量时，测得值会增加。注意热偶真空计的规管要配对校准。建议备用一只同时校准的规管，以备怀疑规管污染失真时进行对比。极限压力升高会使高真空时段的抽气效率下降，也会使极限全压力升高。可以参照上述介绍来判断、检查、处理抽气效率下降和极限全压力升高的故障。橡胶避震器的结构设计，电机与橡胶避震器轴承的噪声，橡胶避震器等运动件是否滑畅、进量太多、风扇、传动件产生的噪声、进气量大，开气镇运转、挡板等橡胶避震器内零件松动，安装不平等引起振动，都会影响橡胶避震器的噪声。防止喷用的盒回孔的大小、位置、密封状况,挡板的设计、安装,排气口部分的减雾器、挡帽、气分离器，位的高低，进量的大小，都会影响橡胶避震器的喷，橡胶避震器门敞开抽大气时，直联橡胶避震器排气口的气流速度可以高达30m/s，吹开面时，橡胶避震器内的循环和气流带出的就将考验防止喷的各项措施。
有些橡胶避震器有橡胶避震器，有分离器，有路上的单向阀，有消雾器，有入口过滤器(防蒸汽返流用)，有入口灰尘过滤器等部件或附件，也要进行检查。橡胶避震器失效将使橡胶避震器的润滑和密封失效，消雾器失效，有可能使排气压力升高，功率加大，损坏电机，入口过滤器失效可使进气阻力增大，抽速下降，抽气效率下降。